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J-GLOBAL ID：200902110342969277   整理番号：00A0251330

2次元角度格子と2次元角度センサを組み合わせた面内変位検出機構の開発

Development of 2-D Displacement Sensors by Using 2-D Angle Grid and 2-D Angle Sensors.

著者 (3件)： 小倉一朗 (機械技研) ,  清野慧 (東北大 大学院) ,  岡崎祐一 (機械技研)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 66  号： 2  ページ： 272-276  発行年： 2000年02月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 工作機械などの高精度・高分解能位置決めに用いるステージの移動...

シソーラス用語： *センサ ,...
準シソーラス用語： 角度格子

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分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  工作機械要素,ジグ,チャック  (QC01020Z)

引用文献 (9件)：

• 清水茂夫. アンケート調査に見る超精密位置決め技術に関する現状. 精密工学会誌. 1995, 61, 12, 1650
• 渋川哲朗. 工作機械における超精密位置決め技術の現状. 精密工学会誌. 1991, 57, 10, 1717
• TOMITA, Y. A Surface Motor-driven Precise Positioning System. Prec.Eng. 1994, 16, 3, 184
• 社本英二. Walking Driveによる精密送り機構の開発(第2報)-速度制御法と超精密位置決めシステムの開発-. 精密工学会誌. 1995, 61, 8, 1106
• Heidenhain KGM 101 Grid Encoder Catalogue. 1996

タイトルに関連する用語 (5件)： 2次元 ,  格子 ,  角度センサ ,  面内変位 ,  開発