極端紫外リソグラフィックレチクルの熱機械特性

GIANOULAKIS S E; RAY-CHAUDHURI A K

文献

J-GLOBAL ID：200902110898240187 整理番号：99A0237769

極端紫外リソグラフィックレチクルの熱機械特性

Thermal-mechanical performance of extreme ultraviolet lithographic reticles.

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資料名：
巻： 16 号： 6 ページ： 3440-3443 発行年： 1998年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

三次元の過渡熱及び固体機械的モデルを開発し,これを用いて走査...

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試料技術 , 固体デバイス製造技術一般

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