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J-GLOBAL ID:200902110898240187   整理番号:99A0237769

極端紫外リソグラフィックレチクルの熱機械特性

Thermal-mechanical performance of extreme ultraviolet lithographic reticles.
著者 (2件):
資料名:
巻: 16  号:ページ: 3440-3443  発行年: 1998年11月 
JST資料番号: E0974A  ISSN: 1071-1023  CODEN: JVTBD9  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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三次元の過渡熱及び固体機械的モデルを開発し,これを用いて走査...
シソーラス用語:
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分類 (2件):
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試料技術  ,  固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (2件):
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