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J-GLOBAL ID：200902114614129902   整理番号：03A0069836

集束イオンビーム支援化学蒸着により成長させた非晶質炭素ナノピラーに関する密度評価

Density estimation for amorphous carbon nanopillars grown by focused ion beam assisted chemical vapor deposition.

著者 (3件)： ISHIDA M (NEC Fundamental Res. Lab., Tsukuba, JPN) ,  FUJITA J (NEC Fundamental Res. Lab., Tsukuba, JPN) ,  OCHIAI Y (NEC Fundamental Res. Lab., Tsukuba, JPN)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 20  号： 6  ページ： 2784-2787  発行年： 2002年11月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 1071-1023  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 集束イオンビーム支援化学蒸着(FIB CVD)により成長させ...

シソーラス用語： *集束イオンビーム ,...
準シソーラス用語： ナノピラー

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分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (8件)： 集束イオンビーム ,  支援 ,  化学蒸着 ,  成長 ,  非晶質炭素 ,  ナノピラー ,  密度 ,  評価