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J-GLOBAL ID：200902115211433594   整理番号：02A0726785

超純水のみによる電気化学的加工法の研究 陰極表面における加工現象

A Study on Electrochemical Machining Method in Ultrapure Water. Electrochemical Machining of Cathode Surface.

著者 (6件)： 森勇蔵 (大阪大 大学院工学研究科) ,  後藤英和 (京都工繊大 工芸) ,  広瀬喜久治 (大阪大 大学院工学研究科) ,  小畠厳貴 (大阪大 大学院工学研究科) ,  当間康 (荏原総合研) ,  西村丈人 (大阪大 大学院工学研究科)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 68  号： 9  ページ： 1241-1245  発行年： 2002年09月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究の目的は,電気化学的加工現象の素過程が溶液中のOH<s...

シソーラス用語： *電気化学反応 ,...
準シソーラス用語： *陰極

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分類 (2件)： 特殊加工  (QC04000Y) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (11件)：

• 森勇蔵. 超純水中の水酸基による加工方法
• MORI, Y. Development of Ultra-Precision and Ultra-Clean Electro-Chemical Processing Method Ushing Hydroxyl Ion in Ultrapure Water. Precision Science and Technology for Perfact Surfaces. 1999, 237
• 森勇蔵. 超純水による電気化学的加工法の研究-触媒反応を利用した超純水中のOH^-イオン密度の増加方法-. 精密工学会誌. 2001, 67, 6, 932
• 森勇蔵. 電解加工方法及び装置
• 後藤英和. 超純水のみによる電気化学的加工法の研究-水素終端化されていないSi(001)表面原子とOHとの反応素過程-. 精密工学会誌. 2001, 67, 8, 1321

タイトルに関連する用語 (5件)： 純水 ,  電気化学的加工 ,  研究 ,  陰極 ,  現象