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J-GLOBAL ID：200902117201106946   整理番号：00A0759116

プラズマCVMの開発

Development of Plasma CVM(Chemical Vaporization Machining).

著者 (4件)： 森勇蔵 (大阪大 大学院) ,  山内和人 (大阪大 大学院) ,  山村和也 (大阪大 大学院) ,  佐野泰久 (大阪大 大学院)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 66  号： 8  ページ： 1280-1285  発行年： 2000年08月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 機械加工に置き換えうる加工技術の確立を目的として,材料の結晶...

シソーラス用語： *プラズマ化学反応 ,...

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分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (17件)：

• 森勇藏. EEM(Elastic Emission Machining)の基礎研究(第1報)-極微小弾性破壊の概念とその可能性-. 精密機械. 1977, 43, 5, 542
• 森勇藏. EEM(Elastic Emission Machining)による超精密数値制御加工法. 精密機械. 1980, 46, 12, 1537
• 森勇藏. 極限精密加工技術. 精密工学会誌. 1991, 57, 1, 36
• 特許. ラジカル反応による無歪精密加工方法
• MORI, Y. Plasma CVM(Chemical Vaporization Machining):An Ultra Precision Machining Technique Using High-pressure Reactive Plasma. Nanotechnology. 1993, 4, 225

タイトルに関連する用語 (2件)： プラズマCVM ,  開発