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J-GLOBAL ID：200902117305745975   整理番号：02A0555278

R-サファイア上の(11<span style=text-decoration:overline>2</span>0)面エピタキシャル酸化亜鉛膜で作られたせん断バルク波変換器

Ultrasonic Electronics. Shear Bulk Wave Transducer Made of (11<span style=text-decoration:overline>2</span>0)-Plane Epitaxial ZnO Film on R-Sapphire.

著者 (2件)： KADOTA M (Murata Mfg. Co., Ltd., Kyoto, JPN) ,  MIURA T (Murata Mfg. Co., Ltd., Kyoto, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 41  号： 5B  ページ： 3281-3284  発行年： 2002年05月30日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： c-面((0001)-面)多結晶酸化亜鉛膜は通常はR-サファ...

シソーラス用語： *音響変換器 ,...
準シソーラス用語： 電気音響変換器

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分類 (1件)： 音響変換器,その他の機器  (BB03060N)

引用文献 (11件)：

• 1) N. S. Foster: J. Vac. Sci. & Tech. <B>6</B> (1969) 111.
• 2) M. Minakata: Tohoku Univ. Ph. D. Dissertation (1974) [in Japanese].
• 3) S. V. Krishnaswany, B. R. McAvoy and R. A. Moore: Proc. IEEE Ultrason. Symp. (1983) p. 531.
• 4) J. S. Wang, K. M. Lakin and A. R. Landin: Proc. IEEE Frequency Cont. Symp. (1983) p. 144.
• 5) T. Mitsuya, S. Ono and K. Wasa: J. Appl. Phys. 51 (1980) 2464.

タイトルに関連する用語 (6件)： サファイア ,  エピタキシャル ,  酸化亜鉛 ,  せん断 ,  バルク波 ,  変換器