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J-GLOBAL ID：200902124184522872   整理番号：94A0712411

水分子と相互作用するシリコン単結晶(001)水素終端化表面の第一原理分子動力学シミュレーション

First-principles Molecular-dynamics Simulations of H-terminated Si(001) Surface Interacting with H₂O Molecule.

著者 (6件)： 広瀬喜久治 (大阪国際女大) ,  後藤英和 (京都工繊大 工芸) ,  土屋八郎 (京都工繊大 工芸) ,  森勇蔵 (大阪大 工) ,  遠藤勝義 (大阪大 工) ,  山内和人 (大阪大 工)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 60  号： 8  ページ： 1139-1143  発行年： 1994年08月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： シリコン単結晶表面の超平坦化加工を検討した。この加工原理は水...

シソーラス用語： 単結晶 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (11件)：

• 1) S. Watanabe, N. Nakayama and T. Ito : Homogeneous Hydrogen-terminated Si (100) Surface Formed Using Aqueous HF Solution and Water, Appl. Phys. Lett., 59, (1991) 1458.
• 2) 宇田 毅 : 第一原理分子動力学によるシリコン表面の構造予測, 精密工学会誌, 59, 6(1993)886.
• 3) 広瀬喜久治, 後藤英和, 土屋八郎, 森 勇蔵, 遠藤勝義, 山内和人 : 材料表面現象の第一原理分子動力学シミュレーション-シリコン単結晶(001)表面の水素終端化反応, 精密工学会誌, 60, 3(1994) 402.
• 4) W. Kohn and L. J. Sham : Self-consistent Equations Including Exchange and Correlation Effects, Phys. Rev., 140, 4 A, (1965) 1133.
• 5) G. B. Bachelet, D. R. Hamann and M. Schltiter : Pseudopotentials that Work : From H to Pu, Phy. Rev., B 26, 6, (1979) 4199.

タイトルに関連する用語 (5件)： 水分子 ,  相互作用 ,  シリコン単結晶 ,  水素終端 ,  第一原理分子動力学シミュレーション