原子間力顕微鏡を用いたチップ押込法によるマイクロレジストパターンの崩壊特性の解析

KAWAI A

文献

J-GLOBAL ID：200902129580662492 整理番号：99A0675007

原子間力顕微鏡を用いたチップ押込法によるマイクロレジストパターンの崩壊特性の解析

Collapse behavior of microresist pattern analyzed by the tip indentation method with an atomic force microscope.

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資料名：
巻： 17 号： 3 ページ： 1090-1093 発行年： 1999年05月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

レジストマイクロパターンの付着特性の新しい定量解析法を提案し...

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固体デバイス製造技術一般 , 固体の機械的性質一般

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