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J-GLOBAL ID：200902132271660818   整理番号：99A0355980

りん化インジウム表面の電気化学エッチングのボルタンメトリーおよび走査プローブ顕微鏡による研究

Electrochemical Etching of Indium Phosphide Surfaces Studied by Voltammetry and Scanned Probe Microscopes.

著者 (3件)： KANESHIRO C (Hokkaido Univ., Hokkaido) ,  SATO T (Hokkaido Univ., Hokkaido) ,  HASEGAWA H (Hokkaido Univ., Hokkaido)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 38  号： 2B  ページ： 1147-1152  発行年： 1999年02月28日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ボルタンメトリー,X線光電子分光,その場電気化学走査型トンネ...

シソーラス用語： *ボルタンメトリー ,...

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分類 (2件)： 試料技術  (BA02070O) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (17件)：

• (1) S. Adachi: Properties of Indium Phosphide (INSPEC, EMIS Datareviews Series No. 6, UK, 1991) p. 339.
• (2) S. Menezes, B. Miller and K.J. Bachmann: J. Vac. Sci. & Technol. B 1 (1983) 48.
• (3) R.T. Green, D.K. Walker and C.M. Wolfe: J. Electrochem. Soc. 133 (1986) 2278.
• (4) M. Faur, M. Faur, M Goradia, S. Bailey: Proc. InP and Related Materials (1990) p. 242.
• (5) I.E. Vermeir and W.P. Gomes: J. Electrochem. Soc. 143 (1996) 1319.

タイトルに関連する用語 (5件)： りん化インジウム ,  電気化学エッチング ,  ボルタンメトリー ,  走査プローブ顕微鏡 ,  研究