文献

J-GLOBAL ID：200902133096318920   整理番号：01A0486694

表面波結合プラズマ発生のためのラジアルラインスロットアンテナの近傍場分布

Near-Field Distribution of Radial Line Slot Antenna for Surface-Wave-Coupled Plasma Generation.

著者 (6件)： YAMAMOTO T (Yamagata Univ., Yamagata, JPN) ,  ONO M (Yamagata Univ., Yamagata, JPN) ,  ANDO M (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  GOTO N (Takushoku Univ., Tokyo, JPN) ,  ISHII N (Tokyo Electron Ltd., Yamanashi, JPN) ,  YASAKA Y (Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 40  号： 1  ページ： 380-387  発行年： 2001年01月15日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： アンテナ開口に横型スロットの高密度アレイをもつ新しいスロット...

シソーラス用語： *スロットアンテナ ,...

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分類 (2件)： アンテナ  (ND06000M) ,  プラズマ生成・加熱  (BJ02060E)

引用文献 (17件)：

• 1) T. Yoshiki, K. Ono and K. Komachi: Ext. Abstr. (Fall Meet. 1994) Japan Society of Applied Physics 20a-ZM-8 [in Japanese].
• 2) H. Mabuchi, K. Katayama, K. Ito, K. Komachi and T. Ebata: Ext. Abstr. (Fall Meet. 1994) Japan Society of Applied Physics 20a-ZM-9 [in Japanese].
• 3) T. Akimoto and E. Ikawa: Ext. Abstr. (Fall Meet. 1994) Japan Society of Applied Physics 20a-ZM-10 [in Japanese].
• 4) M. Nagatsu, S. Morita, I. Ghanashev, A. Ito, N. Toyoda and H. Sugai: Appl. Phys. 33 (2000) 1143.
• 5) M. Tuda, K. Ono, H. Ootera, M. Tsuchihashi, M. Hanazaki and T. Komemura: J. Vac. Sci. Technol. A 18 (2000) 840.

タイトルに関連する用語 (5件)： 表面波 ,  プラズマ発生 ,  ラジアルラインスロットアンテナ ,  近傍場 ,  分布