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J-GLOBAL ID：200902136110012005   整理番号：02A0909710

DLCダイヤモンド膜 ダイヤモンド膜からDLC膜まで その構造と物性

著者 (1件)： 斎藤秀俊 (長岡技科大)
資料名： トライボロジスト  (Journal of Japanese Society of Tribologists)
巻： 47  号： 11  ページ： 795-801  発行年： 2002年11月15日 
JST資料番号： F0390A  ISSN： 0915-1168  CODEN： TORAEO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本報では最初にダイヤモンドとDLC(Diamond-Like...

シソーラス用語： *DLC膜 ,...
準シソーラス用語： 黒鉛 ,...

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分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

引用文献 (11件)：

• AISENBERG, S. Ion-Beam Deposition of Thin Films of Diamondlike Carbon. J. Appl. Phys. 1971, 42, 7, 2953
• ALLEN, S. M. The Structure of Materials. 1999, 44
• SILVA, S. R. P. The Structure of Tetrahedral Amorphous Carbon Thin Films. Thin Solid Films. 1996, 290-291, 317
• WEILER, M. Highly Tetrahedral, Diamond-like Amorphous Hydrogenated Carbon Prepared from a Plasma Beam Source. Appl. Phys. Lett. 1994, 64, 21, 2797
• LI, Y. Evidence of Graphitization of Diamond-like Carbon Films During Sliding Wear. J. Mater. Sci. 1997, 32, 13, 3491

タイトルに関連する用語 (4件)： DLC ,  ダイヤモンド膜 ,  DLC膜 ,  物性