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J-GLOBAL ID:200902136110012005   整理番号:02A0909710

DLCダイヤモンド膜 ダイヤモンド膜からDLC膜まで その構造と物性

著者 (1件):
資料名:
巻: 47  号: 11  ページ: 795-801  発行年: 2002年11月15日 
JST資料番号: F0390A  ISSN: 0915-1168  CODEN: TORAEO  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (2件):
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その他の無機化合物の薄膜  ,  炭素とその化合物 
タイトルに関連する用語 (4件):
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