Si単結晶マイクロエレメントの破壊・疲労特性評価と水環境効果

文献

J-GLOBAL ID：200902138294891084 整理番号：96A0433691

Evaluation of Fracture and Fatigue Strength of Single-Crystal Silicon Microelements and Influence of Water.

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巻： 62 号： 596 ページ： 978-984 発行年： 1996年04月
JST資料番号： F0227B ISSN： 0387-5008 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

電磁力負荷方式微小材料機械的特性評価試験機を用いて,異方性エ...

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固体デバイス材料

引用文献 (11件)：

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