文献
J-GLOBAL ID：200902138865504970
整理番号：00A0992432
弾性表面波リニアモータにおけるシリコンスライダ形状に関する研究
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著者 (3件)：
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資料名：
巻：
2000
号：
春季
ページ：
523
発行年：
2000年03月22日
JST資料番号：
Y0914A
資料種別：
会議録 (C)
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
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