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J-GLOBAL ID:200902138944343524   整理番号:97A0823510

ZnSeの有機金属化学蒸着中の窒素プラズマドーピング

Nitrogen Plasma Doping during Metalorganic Chemical Vapor Deposition of ZnSe.
著者 (3件):
資料名:
巻: 36  号: 7B  ページ: 4949-4952  発行年: 1997年07月 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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低周波数高電圧プラズマ放電によって発生させた1Torrのオー...
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