ZnSeの有機金属化学蒸着中の窒素プラズマドーピング

文献

J-GLOBAL ID：200902138944343524 整理番号：97A0823510

Nitrogen Plasma Doping during Metalorganic Chemical Vapor Deposition of ZnSe.

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巻： 36 号： 7B ページ： 4949-4952 発行年： 1997年07月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

低周波数高電圧プラズマ放電によって発生させた1Torrのオー...

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半導体薄膜

引用文献 (18件)：

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