結晶シリコンナノ球の自己組織化鎖

KOHNO H; TAKEDA S

文献

J-GLOBAL ID：200902139807148885 整理番号：99A0101461

結晶シリコンナノ球の自己組織化鎖

Self-organized chain of crystalline-silicon nanospheres.

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資料名：
巻： 73 号： 21 ページ： 3144-3146 発行年： 1998年11月23日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

中心部を薄くしたCZ-Si基板にAu膜を蒸着し,真空中で12...

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半導体薄膜

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