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J-GLOBAL ID：200902149320168282   整理番号：98A0780407

光学部品製造のためのパイプ電極による計算機数値制御プラズマ化学蒸着加工

Computer numerically controlled plasma chemical vaporization machining with a pipe electrode for optical fabrication.

著者 (9件)： TAKINO H (Nikon Corp., Kanagawa, JPN) ,  SHIBATA N (Nikon Corp., Kanagawa, JPN) ,  ITOH H (Nikon Corp., Kanagawa, JPN) ,  KOBAYASHI T (Nikon Corp., Kanagawa, JPN) ,  TANAKA H (Nikon Corp., Kanagawa, JPN) ,  EBI M (Nikon Corp., Kanagawa, JPN) ,  YAMAMURA K (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  SANO Y (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  MORI Y (Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名： Applied Optics  (Applied Optics)
巻： 37  号： 22  ページ： 5198-5210  発行年： 1998年08月01日 
JST資料番号： B0026B  ISSN： 1559-128X  CODEN： APOPAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 光学部品製造のためのパイプ電極を用いる計算機数値制御プラズマ...

シソーラス用語： *光学系 ,...

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分類 (1件)： 光学器械要素とその材料  (QF05020K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 光学部品 ,  パイプ ,  計算機数値制御 ,  プラズマ化学蒸着