文献

J-GLOBAL ID：200902150756829460   整理番号：95A0571413

H^∞制御によるXYステージの位置決め制御

H^∞ Control for Positioning of XY Stage.

著者 (3件)： 佐藤幹夫 (キャノン) ,  涌井伸二 (キャノン) ,  原辰次 (東京工大)
資料名： システム/制御/情報  (システム制御情報学会誌)
巻： 39  号： 6  ページ： 254-257  発行年： 1995年06月 
JST資料番号： G0902A  ISSN： 0916-1600  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 非接触型移動式のXYステージに対して,微動ステージ振動の抑制...

シソーラス用語： 位置制御 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=95A0571413&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0902A") }}

分類 (2件)： システム設計・解析  (IA02030D) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (4件)：

• 崎野. 高速・高精度位置決めステージの開発. 日本機械学会第69期通常総会講演会論文集. 1992, C, 920-17, 542-544
• D. McFarlane. Robust Controller Design Using Normalized Coprime Factor Plant Descriptions. Lecture Notes in Control and Information Sciences. 1990, 138
• 原. ロバストサーボ設計法. SICEサマーセミナー'92テキスト. 1992, 55-67
• 佐藤. H^∽制御によるXYステージの位置決め制御. 第2回制御理論応用シンポジウム資料. 1994, 53-58

タイトルに関連する用語 (3件)： H∞制御 ,  XYステージ ,  位置決め制御