文献

J-GLOBAL ID：200902152049407684   整理番号：01A0404130

イオンビーム支援堆積法で作製したTiN薄膜の優先配向の変化

Variation in Preferred Orientations of TiN Thin Films Prepared by Ion Beam Assisted Deposition.

著者 (6件)： MATSUMURO A (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  HAYASHI T (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  MURAMATSU M (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  TAKAHASHI Y (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  KOHZAKI M (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  YAMAGUCHI K (Mie Univ., Tsu, JPN)
資料名： Materials Science Research International  (Materials Science Research International)
巻： 7  号： 1  ページ： 1-6  発行年： 2001年03月15日 
JST資料番号： L2329A  ISSN： 1341-1683  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： イオンビーム支援堆積法で作製したTiN膜の優先配向に及ぼす種...

シソーラス用語： *イオンビーム蒸着 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=01A0404130&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=L2329A") }}

分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

引用文献 (15件)：

• YAMAGUCHI, T. J. Appl. Phys. 1995, 78, 2385
• GRIGOROV, G. I. Appl. Phys. A, Soli. Surf. 1993, 57, 195
• GIVENS, J. H. Surf. Coat. Technol. 1992, 54-55, 78
• NISHIMURA, I. The Journal of the Surface Finishing Society of Japan. 1992, 43, 78
• REISSE, G. Appl. Surf. Sci. 1996, 106, 268

タイトルに関連する用語 (4件)： イオンビーム支援堆積 ,  作製 ,  TiN薄膜 ,  優先配向