非球面鏡を使ったリングフィールド極紫外線露光システム

文献

J-GLOBAL ID：200902154993685428 整理番号：99A0245542

Ring-Field Extreme Ultraviolet Exposure System Using Aspherical Mirrors.

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著者 (8件)： , , , , , , ,
資料名：
巻： 37 号： 12B ページ： 6750-6755 発行年： 1998年12月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

極紫外線(EUV)リソグラフィー用の3鏡リングフィールド・プ...

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固体デバイス製造技術一般 , 電磁場中の粒子の運動及び放射

引用文献 (37件)：

1) H. Kinoshita, T. Kaneko, H. Takei, N. Taguchi and N. Ishii: Ext. Abstr. (the 47th Autumn Meet. 1986), the Japan Society of Applied Physics, p. 322 [in Japanese].
2) A. Hawlyluk and L. Seppala: J. Vac. Sci. Technol. B6 (1988) 2162
3) D. White, J. Bjorkholm, J. Bokor, L. Eichner, R. Freeman, T. Jewell, W. Mansfield, A. MacDowell, L. Szeto, D. Taylor, D. Tennant, W. Waskiewicz, D. Windt and O. Wood II: J. Solid State Technol. 34 7 (1991) 37.
4) C. Montcalm, B. Sullivan, H. Pepin, J. Dobrowolski and M. Sutton: Appl. Opt. 33 (1994) 2057.
5) K. Skulina, C. Alford, R. Bionta, D. Makowiecki, E. Gullikson, R. Soufli, J. Kortright and J. Underwood: Appl. Opt. 34 (1995) 3727.

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