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J-GLOBAL ID:200902155033794830   整理番号:99A0755046

SrBi2Ta2O9/Pt/SrTa2O6/SiON/Si構造を使った不揮発性強誘電体ゲート電界効果トランジスタ

Nonvolatile ferroelectric-gate field-effect transistors using SrBi2Ta2O9/Pt/SrTa2O6/SiON/Si structures.
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資料名:
巻: 75  号:ページ: 575-577  発行年: 1999年07月26日 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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標題構造を用いたpチャネル金属-強誘電体-金属-絶縁体-半導...
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