SHIRAI H について
Saitama Univ., Saitama, JPN について
YOSHINO K について
Saitama Univ., Saitama, JPN について
OHKAWARA G について
Saitama Univ., Saitama, JPN について
UEYAMA H について
Nihon Koshuha Co., Ltd., Yokohama, JPN について
Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters について
マイクロ波放電 について
スポークアンテナ について
プラズマ生成・加熱 について
半導体薄膜 について
微結晶 について
シリコン膜 について
堆積 について
スポーク について
アンテナ について
高密度 について
マイクロ波プラズマ について