金属マスクの熱的変形に対する対応策としてのスリット構造

文献

J-GLOBAL ID：200902163370440903 整理番号：02A0109050

Slit Structure as a Countermeasure for the Thermal Deformation of a Metal Mask.

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資料名：
巻： 40 号： 12 ページ： 7170-7173 発行年： 2001年12月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

スパッタ膜のパターン形成に用いる金属マスクの熱的曲がりに対す...

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薄膜成長技術・装置

引用文献 (8件)：

1) T. Yamazaki, Y. Yoshino, T. Yoshizawa, T. Yamabuchi, K. Terayama, T. Shimazaki and T. Mizuguchi: Jpn. J. Appl. Phys. 35 (1996) 4755.
2) T. Yamazaki, T. Yoshizawa, T. Yamabuchi, S. Hirobayashi, T. Kikuta and N. Nakatani: Proc. JSST 2000 Int. Conf. Modeling, Control and Computation in Simulation, Tokyo, Japan, 2000, p. 372.
3) T. Yoshizawa, T. Yamazaki, T. Yamabuchi, S. Hirobayashi, T. Kikuta and N. Nakatani: J. Jpn. Soc. Simulation Technol. 20 (2001) 71 [in Japanese].
4) T. Mizuguchi, M. Saoshita and G. Kugo: Japan Patent H. 09-202959 (1997) [in Japanese].
5) T. Mizuguchi, S. Saoshita and M. Sumita: Japan Patent H. 10-8239 (1998) [in Japanese].

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