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J-GLOBAL ID：200902166010149387   整理番号：99A0999401

光化学的にエッチしたシリコンからの青色ルミネセンス

Blue Luminescence from Photochemically Etched Silicon.

著者 (2件)： YAMAMOTO N (Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN) ,  TAKAI H (Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 38  号： 10  ページ： 5706-5709  発行年： 1999年10月15日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： He-Neレーザ照射下で酸化剤としてH<sub>2</sub...

シソーラス用語： *フォトエッチング ,...

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分類 (1件)： 半導体のルミネセンス  (BM08092S)

物質索引 (1件)： エタノール

引用文献 (15件)：

• 1) L. T. Canham: Appl. Phys. Lett. 57 (1990) 1046.
• 2) V. Lehmann and U. Gosele: Appl. Phys. Lett. 58 (1991) 856.
• 3) Y. Kanemitsu: Phys. Rev. B 48 (1993) 4883.
• 4) X. Wang, D. Huang, L. Ye, M. Yang, P. Hao, H. Fu, X. Hou and X. Xie: Phys. Rev. Lett. 71 (1993) 1265.
• 5) T. Ohno, K. Shiraishi and T. Ogawa: Phys. Rev. Lett. 69 (1992) 2400.

タイトルに関連する用語 (5件)： 光化学 ,  エッチ ,  シリコン ,  青色 ,  ルミネセンス