強い射影効果のもとで堆積したスパッタ銅膜の構造

文献

J-GLOBAL ID：200902167087992741 整理番号：01A0314020

Microstructure of Sputtered Copper Films Deposited under the Strong Shadow Effect.

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巻： 44 号： 1 ページ： 42-46 発行年： 2001年01月20日
JST資料番号： G0194A ISSN： 0559-8516 CODEN： SHINA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

射影効果を強調できる小型スパッタ装置を製作し,この装置で得ら...

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金属薄膜 , 薄膜成長技術・装置

引用文献 (4件)：

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