円筒マグネトロンスパッタ装置で成膜した黒色のチタン薄膜の構造

文献

J-GLOBAL ID：200902137362777060 整理番号：96A0798521

Structural Features of Black Ti Films Prepared by Cylindrical Magnetron Sputtering.

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巻： 39 号： 8 ページ： 383-388 発行年： 1996年08月
JST資料番号： G0194A ISSN： 0559-8516 CODEN： SHINA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

円筒マグネトロンスパッタ装置で成膜したチタン薄膜は12Pa程...

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金属薄膜

引用文献 (6件)：

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