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J-GLOBAL ID：200902172725031383   整理番号：01A0212534

TiNのハイブリッドラジカルビーム-パルスレーザ蒸着によるSiのバリアメタル成長

Si Barrier Metal Growth by Hybrid Radical Beam-Pulsed Laser Deposition of TiN.

著者 (5件)： OBATA K (RIKEN (Inst. Physical and Chemical Res.), Saitama, JPN) ,  SUGIOKA K (RIKEN (Inst. Physical and Chemical Res.), Saitama, JPN) ,  TOYODA K (Sci. Univ. Tokyo, Chiba, JPN) ,  TAKAI H (Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN) ,  MIDORIKAWA K (RIKEN (Inst. Physical and Chemical Res.), Saitama, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 39  号： 12B  ページ： 7031-7034  発行年： 2000年12月30日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Tiのレーザ蒸着と窒素ラジカルビーム照射を組み合わせて,Si...

シソーラス用語： *チタン化合物 ,...
準シソーラス用語： バリアメタル

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分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (14件)：

• 1) M. Wittmer: J. Vac. Sci. & Technol. <B>A2</B> (1981) 273.
• 2) N. Biunno, J. Narayan, S. K. Hofmeister, A. R. Srivatsa and R. K. Singh: Appl. Phys. Lett. 54 (1989) 1519.
• 3) M. Kottke, R. Gregory, F. Pintchovski, E. Travis and P. J. Tobin: J. Vac. Sci. & Technol. <B>B9</B> (1991) 74.
• 4) S. Soube, T. Yamauchi, H. Suzuki, S. Mukainakano, O. Takenaka and T. Hattori: Appl. Surf. Sci. 117/118 (1997) 308.
• 5) B. O. Johansson, J. E. Sundgren and J. E. Greene: J. Vac. Sci. & Technol. <B>A3</B> (1985) 303.

タイトルに関連する用語 (5件)： TiN ,  パルスレーザ蒸着 ,  Si ,  バリアメタル ,  成長