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J-GLOBAL ID：200902173870681317   整理番号：99A0675003

多孔質ポリシリコン膜を用いた効率的で安定な面放出冷陰極の機構

Mechanism of efficient and stable surface-emitting cold cathode based on porous polycrystalline silicon films.
著者 (3件)：
KOMODA T

KOMODA T について

(Matsushita Electric Works Ltd., Osaka, JPN)

Matsushita Electric Works Ltd., Osaka, JPN について

, 
SHENG X

SHENG X について

(Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)

Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN について

, 
KOSHIDA N

KOSHIDA N について

(Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)

Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN について


資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)

Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures について


巻： 17  号： 3  ページ： 1076-1079  発行年： 1999年05月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 1071-1023  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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面放出冷陰極としての多孔質ポリシリコン(PPS)を用いたAu...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*ケイ素

ケイ素 について

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準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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陽極酸化

陽極酸化 について

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分類 (2件)：
分類
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電子源,イオン源 
(BD02020U)

電子源,イオン源 について

,  熱電子放出,電界放出 
(BM09020S)

熱電子放出,電界放出 について

タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
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多孔質

多孔質 について

, 
ポリシリコン膜

ポリシリコン膜 について

, 
放出

放出 について

, 
冷陰極

冷陰極 について


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