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J-GLOBAL ID：200902177649586976   整理番号：94A0241858

クロスフィールド磁界を用いたシランプラズマ中のシリコン微粒子の動的制御

Dynamic Control of Silicon Particles by Cross Magnetic Field in Silane Plasmas.

著者 (3件)： YANG S-C (長崎大 工) ,  松田良信 (長崎大 工) ,  藤山寛 (長崎大 工)
資料名： 応用物理学会九州支部講演会講演予稿集  (応用物理学会九州支部学術講演会講演予稿集)
巻： 19  ページ： 149  発行年： 1993年12月 
JST資料番号： L1487A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (7件)： フィールド ,  磁界 ,  シラン ,  プラズマ ,  シリコン ,  微粒子 ,  動的制御