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J-GLOBAL ID：200902177703908178   整理番号：01A0758387

シランカップリング処理された表面へのレジスト像の接着の原子間力顕微鏡(AFM)による直接測定

Direct Measurement of Resist Pattern Adhesion on the Surface with Silane-coupling Treatment by Atomic Force Microscope(AFM.)

著者 (2件)： KAWAI A (Nagaoka Univ. Technol., Niigata, JPN) ,  ABE T (Nagaoka Univ. Technol., Niigata, JPN)
資料名： Journal of Photopolymer Science and Technology  (Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻： 14  号： 4  ページ： 513-518  発行年： 2001年 
JST資料番号： L0202A  ISSN： 0914-9244  CODEN： JSTEEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シランカップリング剤であるヘキサメチルジシラザン(HMDS)...

シソーラス用語： *シランカップリング剤 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (1件)： ヘキサメチルジシラザン

引用文献 (15件)：

• 1). G. A. Lincoln, M. W. Geis, S. Pang and N. N. Efremow, J. Vac. Sci. & Technol, B1 (1983) 1043.
• 2). J. A. Oro and J. C. Wolfe, J. Appl. Phys,. 53 (1982) 7379.
• 3). T. Tanaka, M. Morigami, and N. Atoda, Jpn. J Appl. Phys, 32 (1993) 6059.
• 4). H. Namatsu, K. Kurihara, M. Nagase, K. Iwadate and K. Murase, Appl. Phys. Lett., 66 (1995) 2655.
• 5). A. Kawai, H. Nagata and M. Takata, Jpn. J. Appl. Phys., 31 (1992) 3725.

タイトルに関連する用語 (6件)： シラン ,  カップリング ,  レジスト ,  原子間力顕微鏡 ,  AFM ,  直接測定