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J-GLOBAL ID：200902180724784496   整理番号：96A0005496

圧電デバイス RFマグネトロン形ECRスパッタ装置によるZnO膜の特性

Properties of ZnO Films Deposited by an RF-Magnetron Mode ECR Sputering System.

著者 (2件)： 門田道雄 (村田製作所) ,  皆方誠 (静岡大)
資料名： 電子情報通信学会論文誌 C-1  (Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-1)
巻： 78  号： 11  ページ： 580-586  発行年： 1995年11月 
JST資料番号： S0623B  ISSN： 0915-1893  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： DC形およびRF形ECRスパッタにおいて,良好な圧電特性を示...

シソーラス用語： 誘電体薄膜 ,...

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分類 (2件)： 圧電気,焦電気,エレクトレット  (BM05040M) ,  弾性表面波デバイス  (NC03120T)

引用文献 (28件)：

• 門田道雄. 超音波顕微鏡によるSAWフィルタ用ガラス基板の評価. 電学論(C). 1991, 111, 9, 412-418
• 門田道雄. 有機高分子材料によるZnO/ガラス構造SAWフィルタの周波数調整. 音響誌. 1992, 4, 2, 96-101
• 門田道雄. SAWデバイス用ZnO圧電膜の端部に生じる応力の影響とその低減. 電学論(C). 1993, 113, 2, 85-90
• 門田道雄. ZnO膜表面研磨によるSAWフィルタの周波数特性ばらつきの低減. 信学論(A). 1993, J76-A, 10, 1399-1406
• 門田道雄. 酸化亜鉛圧電膜を用いた弾性表面波フィルタの研究. 東北大学博士論文. 1994

タイトルに関連する用語 (5件)： 圧電デバイス ,  Rf ,  マグネトロン ,  スパッタ装置 ,  ZnO