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J-GLOBAL ID：200902181287571220   整理番号：01A0267900

数値制御プラズマ化学蒸発加工によるX線ミラーの作製 X線ミラー作製用機械の開発

The study of fabrication of the x-ray mirror by numerically controlled plasma chemical vaporization machining: Development of the machine for the x-ray mirror fabrication.

著者 (3件)： MORI Y (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  YAMAMURA K (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  SANO Y (Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 71  号： 12  ページ： 4620-4626  発行年： 2000年12月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 加工雰囲気の清浄度を保つために,プラズマ発生用の回転電極とX...

シソーラス用語： *X線源 ,...
準シソーラス用語： プラズマ化学蒸発加工

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分類 (2件)： X線技術  (BA02060D) ,  光学器械要素とその材料  (QF05020K)

タイトルに関連する用語 (6件)： 数値制御 ,  プラズマ化学 ,  蒸発 ,  X線ミラー ,  作製 ,  開発