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J-GLOBAL ID：200902181330876057   整理番号：03A0011659

小形電子ビーム励起プラズマ源を用いた酸素プラズマ中でのガラスディスクの洗浄

Cleaning of Glass Disk in Oxygen Plasma by Using Compact Electron-Beam-Excited Plasma Source.

著者 (5件)： TADA S (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  ITO M (Wakayama Univ., Wakayama, JPN) ,  HAMAGAKI M (Inst. Physical and Chemical Res. (RIKEN), Saitama, JPN) ,  HORI M (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  GOTO T (Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 41  号： 11A  ページ： 6553-6556  発行年： 2002年11月15日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 小形電子ビーム励起プラズマ(EBEP)源を用いて記録媒体用の...

シソーラス用語： *記憶媒体 ,...
準シソーラス用語： 電子ビーム励起プラズマ

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分類 (3件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  電子・磁気・光学記録  (NC06020F)

引用文献 (10件)：

• 1) E. S. Murdock, R. F. Simmons and R. Davidson: IEEE Trans. Magn. 28 (1992) 3078.
• 2) L. Holland: Wetting Glass Surfaces (Wiley, New York,) Chap. 6.
• 3) L. Holland and S. M. Ojha: Vacuum 26 (1976) 53.
• 4) K. Takechi and M. A. Lieverman: J. Appl. Phys. 89 (2001) 5318.
• 5) D. L. Flamm: Solid State Technol. 35 (1992) No. 8, 37.

タイトルに関連する用語 (6件)： 小形 ,  プラズマ源 ,  酸素プラズマ ,  ガラス ,  ディスク ,  洗浄