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J-GLOBAL ID：200902182096620414   整理番号：03A0084014

表面波励起マイクロ波プラズマCVD法による整列炭素ナノチューブの大規模合成

Large-Scale Synthesis of Aligned Carbon Nanotubes by Surface-Wave-Excited Microwave-Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition.

著者 (6件)： HAYASHI H (Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN) ,  KOGA M (Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN) ,  KASHIRAJIMA J (Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN) ,  TAKAHASHI K (Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN) ,  HAYASHI Y (Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN) ,  NISHINO S (Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 41  号： 12B  ページ： L1488-L1491  発行年： 2002年12月15日 
JST資料番号： F0599B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： スロットアンテナを利用した表面波励起マイクロ波プラズマにより...

シソーラス用語： 表面波励振 ,...

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分類 (2件)： 原子・分子のクラスタ  (BH09030O) ,  熱電子放出,電界放出  (BM09020S)

引用文献 (8件)：

• 1) S. Iijima: Nature 354 (1991) 56.
• 2) S. Iijima and T. Ichihashi: Nature 363 (1993) 603.
• 3) Z. F. Ren, Z. P. Huang, J. W. Xu, J. H. Wang, P. Bush, M. P. Siegel and P. N. Provebcio: Science 282 (1998) 1105.
• 4) Y. Hayashi, T. Negishi and S. Nishino: J. Vac. Sci. & Technol. A 19 (2001) 1796.
• 5) H. Murakami, M. Hirakawa, C. Tanaka and H. Yamakawa: Appl. Phys. Lett. 76 (2000) 1776.

タイトルに関連する用語 (5件)： 表面波励起 ,  マイクロ波プラズマCVD ,  整列 ,  炭素ナノチューブ ,  大規模