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J-GLOBAL ID：200902183361267671   整理番号：93A0648972

MeV重イオンマイクロビームを用いた埋め込みコンタクトの形成

Formation of contact vias using a MeV heavy ion microprobe.

著者 (7件)： 杢野由明 (大阪工技試) ,  木野村淳 (大阪工技試) ,  堀野裕治 (大阪工技試) ,  田村繁治 (大阪工技試) ,  茶谷原昭義 (大阪工技試) ,  木内正人 (大阪工技試) ,  藤井兼栄 (大阪工技試)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 40th  号： Pt 2  ページ： 593  発行年： 1993年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (3件)： 重イオンマイクロビーム ,  埋め込み ,  コンタクト