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J-GLOBAL ID：200902184107414350   整理番号：95A0315824

ナノメートルオーダーの粒径を測定する新装置 (第2報) 標準粒子を用いる計測システムの評価

A New Apparatus for Measuring Particle Sizes of the Order of Nanometer. (2nd Report). Evaluation of Measuring System by using Standard Particles.

著者 (8件)： AN H (Osaka Electrocomunication Univ., Osaka) ,  MORI Y (Osaka Univ., Osaka) ,  KATAOKA T (Osaka Univ., Osaka) ,  ENDO K (Osaka Univ., Osaka) ,  INAGAKI K (Mikaukuto Co., Ltd., Osaka) ,  YAMAMURA K (Osaka Univ., Osaka) ,  YAMAUCHI K (Osaka Univ., Osaka) ,  FUKUIKE T (Osaka Electrocomunication Univ., Osaka)
資料名： International Journal of the Japan Society for Precision Engineering  (International Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 28  号： 4  ページ： 356-361  発行年： 1994年12月 
JST資料番号： Z0715A  ISSN： 0916-782X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (5件)： ナノメートルオーダー ,  粒径 ,  標準 ,  計測システム ,  評価