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J-GLOBAL ID：200902187023575048   整理番号：00A0858415

PZT薄膜を用いる薄板縦振動子接触プローブセンサ

Thin Plate Longitudinal Vibrator Touch Probe Sensor using PZT Thin Film.
著者 (4件)：
KUROSAWA M K

KUROSAWA M K について

(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)

Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN について

, 
KANDA T

KANDA T について

(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)

Univ. Tokyo, Tokyo, JPN について

, 
HIGUCHI T

HIGUCHI T について

(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)

Univ. Tokyo, Tokyo, JPN について

, 
MORITA T

MORITA T について

(Inst. Physical and Chemical Res., Wako, JPN)

Inst. Physical and Chemical Res., Wako, JPN について


資料名：
Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium  (Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium)

Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium について


巻： 1999  号： Vol.1  ページ： 703-706  発行年： 1999年 
JST資料番号： A0437C  ISSN： 1051-0117  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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微小デバイスの表面粗さとテクスチャを高速走査,高感度で測定す...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*圧電振動子

圧電振動子 について

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準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*PZT【鉛化合物】

PZT【鉛化合物】 について

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分類 (2件)：
分類
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圧電デバイス 
(NC03110I)

圧電デバイス について

,  非破壊試験 
(HB02030F)

非破壊試験 について

タイトルに関連する用語 (5件)：
タイトルに関連する用語
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PZT

PZT について

, 
薄膜

薄膜 について

, 
薄板

薄板 について

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縦

縦 について

, 
振動子

振動子 について


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