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J-GLOBAL ID：200902187744111980   整理番号：97A0043511

超精密ダイヤモンド切削面周期構造の光散乱スペクトル解析

Light scattering spectrum analysis of the ultra-precision diamond cut plane periodical structure.

著者 (3件)： 梁い (大阪大 工) ,  高谷裕浩 (大阪大 工) ,  三好隆志 (大阪大 工)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 1996  号： Spring 3  ページ： 1113-1114  発行年： 1996年03月 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

引用文献 (1件)：

• 三好. Fraunhofer回析による超精密ダイヤモンド旋削面の粗さ測定. 精密工学会誌. 1987, 53/5

タイトルに関連する用語 (6件)： 超精密 ,  ダイヤモンド ,  切削面 ,  周期構造 ,  光散乱 ,  スペクトル解析