低エネルギー電子ビームプロキシミティ投影リソグラフィー  ミッシングリンクの発見

UTSUMI T

文献

J-GLOBAL ID：200902189061115070 整理番号：00A0122698

低エネルギー電子ビームプロキシミティ投影リソグラフィーミッシングリンクの発見

Low energy electron-beam proximity projection lithography: Discovery of a missing link.

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著者 (1件)：
資料名：
巻： 17 号： 6 ページ： 2897-2902 発行年： 1999年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

最小寸法0.1μm以下の集積回路作製用として標記リソグラフィ...

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固体デバイス製造技術一般 , 電子ビーム・イオンビームの応用

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低エネルギー電子ビームプロキシミティ投影リソグラフィー ミッシングリンクの発見

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