プラズマ化学蒸発加工法の開発

MORI Y; YAMAUCHI K; YAMAMURA K; SANO Y

文献

J-GLOBAL ID：200902189724627789 整理番号：01A0267901

プラズマ化学蒸発加工法の開発

Development of plasma chemical vaporization machining.

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資料名：
巻： 71 号： 12 ページ： 4627-4632 発行年： 2000年12月
JST資料番号： D0517A ISSN： 0034-6748 CODEN： RSINAK 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

従来の材料加工法に伴う層変形を避けるため,大気圧プラズマで発...

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プラズマ応用 , 試料技術

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