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J-GLOBAL ID：200902193602845952   整理番号：02A0894650

超純水のみによる電気化学的加工システムの開発と平坦化加工プロセスヘの応用

Development of Electrochemical Machining System in Ultrapure Water and Application to Planarization Machining Process.

著者 (6件)： 森勇蔵 (大阪大 大学院工学研究科) ,  後藤英和 (大阪大 大学院工学研究科) ,  広瀬喜久治 (大阪大 大学院工学研究科) ,  当間康 (荏原総合研) ,  小畠厳貴 (荏原製作所) ,  森田健一 (大阪大 大学院工学研究科)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 68  号： 11  ページ： 1486-1491  発行年： 2002年11月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体をはじめとする最先端の科学技術分野では,原子レベルの加...

シソーラス用語： *超純水 ,...
準シソーラス用語： 電気化学的加工

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分類 (2件)： 特殊加工  (QC04000Y) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (13件)：

• 森勇藏. 超純水中の水酸基による加工方法. 特開平 10-58236
• MORI, Y. Development of Ultra-Precision and Ultra-Clean Electro-Chemical Processing Method Using Hydroxyl Ion in Ultrapure Water. Precision Science and Technology for Perfect Surfaces. 1999, 237
• 森勇藏. 超純水のみによる電気化学的加工法の研究-触媒反応を利用した超純水中のイオン密度の増加方法-. 精密工学会誌. 2001, 67, 6, 932
• 森勇藏. 電解加工方法及び装置. 特開 2001-064799
• 森勇藏. 超純水のみによる電気化学的加工法の研究-陰極表面における加工現象-. 精密工学会誌. 2002, 68, 9, 1241

タイトルに関連する用語 (6件)： 純水 ,  電気化学的加工 ,  開発 ,  平坦化加工 ,  プロセス ,  応用