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J-GLOBAL ID:200902195050102421   整理番号:03A0048534

光酸発生剤及び光塩基発生剤を用いた新しい感光性高分子の進歩

Development of Novel Photosensitive Polymer Systems Using Photoacid and Photobase Generators.
著者 (4件):
資料名:
巻: 15  号:ページ: 715-730  発行年: 2002年 
JST資料番号: L0202A  ISSN: 0914-9244  CODEN: JSTEEW  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 文献レビュー  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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感光性高分子(PHP)中に光増感剤として光酸発生剤(PAG)...
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分類 (2件):
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固体デバイス製造技術一般  ,  光化学反応 
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