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J-GLOBAL ID：200902195088088830   整理番号：98A0506622

Si 2pサブオキサイドによるSi(100)初期酸化モデル

Time evolutions of Si 2p suboxide during thermal oxidation of Si(100).

著者 (8件)： 宮西康至 (東北大 電通研) ,  遠田義晴 (東北大 電通研) ,  入町秀樹 (東北大 電通研) ,  末光真希 (東北大 電通研) ,  庭野道夫 (東北大 電通研) ,  宮本信雄 (東北学院大 工) ,  繁政英治 (KEK PF) ,  加藤博雄 (KEK PF)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 45th  号： 2  ページ： 857  発行年： 1998年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (6件)： Si ,  サブ ,  オキサイド ,  初期 ,  酸化 ,  モデル