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J-GLOBAL ID：200902195187609736   整理番号：00A0491885

Xe₂エキシマーランプを用いた有機シリコン原料の気相における光分解

Photochemical Dissociation of Organic Silicon Source using Xe₂ Excimer Lamp in Gas Phase.

著者 (3件)： 堀井(前田)直宏 (福井工高専) ,  沖村邦雄 (東海大) ,  井上昭浩 (福井工高専)
資料名： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 43  号： 3  ページ： 288-291  発行年： 2000年03月20日 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 気相でのテトラエトキシシラン(TEOS)の光分解を質量分析法...

シソーラス用語： 無機酸エステル ,...

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分類 (2件)： 光化学反応  (CB08020F) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

物質索引 (1件)： テトラエトキシシラン

引用文献 (5件)：

• AWAZU, K. Appl.Phys.Lett. 1996, 69, 4, 482
• 宮野淳一. 第60回応用物理学会学術講演会講演予稿集. 1999, 519
• OKIMURA, Kunio. J.Vac.Sci.Technol. 1998, A16, 6, 3157
• 前田直宏. 電気学会論文誌A. 1997, 117, 8, 853
• SATAKE, Tetsuya. Jpn.J.Appl.Phys. 1994, 33, 3339

タイトルに関連する用語 (4件)： エキシマーランプ ,  シリコン原料 ,  気相 ,  光分解