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J-GLOBAL ID：200902196299546679   整理番号：94A0461347

大規模プラズマ源イオン注入の初期実験

Initial operation of a large-scale plasma source ion implantation experiment.

著者 (7件)： WOOD B P (Los Alamos National Lab., New Mexico) ,  HENINS I (Los Alamos National Lab., New Mexico) ,  GRIBBLE R J (Los Alamos National Lab., New Mexico) ,  REASS W A (Los Alamos National Lab., New Mexico) ,  FAEHL R J (Los Alamos National Lab., New Mexico) ,  NASTASI M A (Los Alamos National Lab., New Mexico) ,  REJ D J (Los Alamos National Lab., New Mexico)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 12  号： 2  ページ： 870-874  発行年： 1994年03月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 1071-1023  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 最近LANLで設計・組立を行った標記イオン注入装置について解...

シソーラス用語： イオン注入 ,...
準シソーラス用語： プラズマ源イオン注入 ,...

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分類 (2件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  放射線による構造と物性の変化一般  (BK16121W)

タイトルに関連する用語 (4件)： 大規模 ,  プラズマ源イオン注入 ,  初期 ,  実験