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J-GLOBAL ID：200902199600108436   整理番号：97A0374784

ZnO透明導電性酸化物の原子層蒸着

Atomic layer deposition of ZnO transparent conducting oxides.
著者 (3件)：
YAMADA A

YAMADA A について

(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)

Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN について

, 
SANG B

SANG B について

(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)

Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN について

, 
KONAGAI M

KONAGAI M について

(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)

Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN について


資料名：
Applied Surface Science  (Applied Surface Science)

Applied Surface Science について


巻： 112  ページ： 216-222  発行年： 1997年03月 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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ジエチル亜鉛とH2Oを反応ガスとして用...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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原子層エピタクシー

原子層エピタクシー について

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準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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原子層蒸着

原子層蒸着 について


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分類 (2件)：
分類
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半導体の表面構造 
(BK15030A)

半導体の表面構造 について

,  半導体結晶の電気伝導 
(BM03043X)

半導体結晶の電気伝導 について

タイトルに関連する用語 (3件)：
タイトルに関連する用語
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ZnO

ZnO について

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透明導電性酸化物

透明導電性酸化物 について

, 
原子層蒸着

原子層蒸着 について


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