文献

J-GLOBAL ID：200902201788833315   整理番号：04A0442411

多孔質シリカ膜の力学特性とネットワーク構造

Mechanical Property and Network Structure of Porous Silica Films

著者 (6件)： TAKADA S (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN) ,  HATA N (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN) ,  SEINO Y (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN) ,  YAMADA K (Assoc. Super-Advanced Electronics Technologies, Ibaraki, JPN) ,  OKU Y (Assoc. Super-Advanced Electronics Technologies, Ibaraki, JPN) ,  KIKKAWA T (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 43  号： 5A  ページ： 2453-2456  発行年： 2004年05月15日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノインデンテーション測定とFourier変換赤外反射分光法...

シソーラス用語： *多孔質体 ,...
準シソーラス用語： *シリカ ,...

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分類 (2件)： その他の非晶質の構造  (BK04040Z) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

引用文献 (23件)：

• 1) Y. Oku, A. Kamiyama, N. Nishiyama and K. Ueyama: Ext. Abs. 2001 Int. Conf. Solid State Devices and Materials, 2001, p. 10.
• 2) C. Yang, A. Cho and F. Pan: Adv. Mater 13 (2001) 1099.
• 3) H. Fan, H. R. Bentley, K. R. Kathan, P. Clem, Y. Lu and C. J. Brinker: J. Non-Cryst. Solids 285 (2001) 79.
• 4) S. Lin, C. Jin, L. Lui, M. Tsai, M. Daniels, A. Gonzalez, J. T. Wetzel, K. A. Monnig, P. A. Winebarger, S. Jang, D. Yu and M. S. Liang: Proc. IEEE 2001 Int. Interconnect Technology Conf., 2001, p. 146.
• 5) F. L. Galeener and G. Lucovsky: Phys. Rev. Lett. 37 (1976) 1474.

タイトルに関連する用語 (4件)： 多孔質 ,  シリカ膜 ,  力学特性 ,  ネットワーク構造