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J-GLOBAL ID:200902205789690602   整理番号:08A0420220

230-270nm深紫外AlGaN系LEDの進展

Development of 230-270 nm AlGaN-Based Deep UV LEDs
著者 (8件):
資料名:
巻: 128  号:ページ: 748-756  発行年: 2008年05月01日 
JST資料番号: S0810A  ISSN: 0385-4221  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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AlGaN系紫外LEDの現状と課題について概説したあと,筆者らが最近研究を行っているAlN結晶の高品質化とそれを用いた230~270nm帯紫外LEDの実現について紹介した。サファイア基板上に高品質AlNテンプレートを作製する方法,ならびに,それを用いて作製した波長227.5~273nm AlGaN LEDについて紹介した。サファイア上LEDの最短波長227.5nmにおいて,0.15mWの出力を観測した。また,殺菌に最も有効な250~270nm帯において室温CWミリワット出力動作を達成した。
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