極端紫外プログラム多層欠陥のactinic検査(露光波長と同一の光による検査)及び相互比較測定

GOLDBERG Kenneth A.; BARTY Anton; LIU Yanwei; KEARNEY Patrick; TEZUKA Yoshihiro; TERASAWA Tsuneo; TAYLOR John S.; HAN Hak-seung; WOOD Obert R.

文献

J-GLOBAL ID：200902206074766675 整理番号：06A1029538

極端紫外プログラム多層欠陥のactinic検査(露光波長と同一の光による検査)及び相互比較測定

Actinic inspection of extreme ultraviolet programed multilayer defects and cross-comparison measurements

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資料名：

Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)

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巻： 24 号： 6 ページ： 2824-2828 発行年： 2006年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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