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J-GLOBAL ID：200902208927626022   整理番号：06A0135102

トライボナノリソグラフィーを用いたKOH水溶液におけるナノスケール作製

Nanoscale fabrication in aqueous KOH solution using tribo-nanolithography
著者 (7件)：
KAWASEGI Noritaka

KAWASEGI Noritaka について

(Graduate School of Sci. and Engineering, Toyama Univ., 3190 Gofuku, Toyama 930-8555, JPN)

Graduate School of Sci. and Engineering, Toyama Univ., 3190 Gofuku, Toyama 930-8555, JPN について

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PARK Jeong Woo

PARK Jeong Woo について

(Engineering Res. Center, Pusan National Univ., 30 Jangjeon-dong, Geumjeong-gu, Busan 609-735, KOR)

Engineering Res. Center, Pusan National Univ., 30 Jangjeon-dong, Geumjeong-gu, Busan 609-735, KOR について

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MORITA Noboru

MORITA Noboru について

(Dep. of Mechanical and Intellectual Systems Engineering, Toyama Univ., 3190 Gofuku, Toyama 930-8555, JPN)

Dep. of Mechanical and Intellectual Systems Engineering, Toyama Univ., 3190 Gofuku, Toyama 930-8555, JPN について

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YAMADA Shigeru

YAMADA Shigeru について

(Dep. of Mechanical and Intellectual Systems Engineering, Toyama Univ., 3190 Gofuku, Toyama 930-8555, JPN)

Dep. of Mechanical and Intellectual Systems Engineering, Toyama Univ., 3190 Gofuku, Toyama 930-8555, JPN について

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TAKANO Noboru

TAKANO Noboru について

(Dep. of Mechanical and Intellectual Systems Engineering, Toyama Univ., 3190 Gofuku, Toyama 930-8555, JPN)

Dep. of Mechanical and Intellectual Systems Engineering, Toyama Univ., 3190 Gofuku, Toyama 930-8555, JPN について

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OYAMA Tatsuo

OYAMA Tatsuo について

(Dep. of Mechanical and Intellectual Systems Engineering, Toyama Univ., 3190 Gofuku, Toyama 930-8555, JPN)

Dep. of Mechanical and Intellectual Systems Engineering, Toyama Univ., 3190 Gofuku, Toyama 930-8555, JPN について

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ASHIDA Kiwamu

ASHIDA Kiwamu について

(Advanced Manufacturing Res. Inst., National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., 1-2-1 Namiki, Tsukuba ...)

Advanced Manufacturing Res. Inst., National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., 1-2-1 Namiki, Tsukuba ... について


資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)

Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures について


巻： 23  号： 6  ページ： 2471-2475  発行年： 2005年11月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 1071-1023  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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KOH水溶液中でのトライボナノリソグラフィー(TNL)を用い...
シソーラス用語：
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ナノ構造

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トライボナノリソグラフィー

トライボナノリソグラフィー について


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分類 (1件)：
分類
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固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

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タイトルに関連する用語 (4件)：
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水溶液

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ナノスケール

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