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J-GLOBAL ID：200902210495650622   整理番号：05A0319462

有機金属気相エピタクシーを用いたブリッジマスク成長

Bridge Mask Growth Using Organomtallic Vapor Phase Epitaxy

著者 (3件)： KIM Jeong Soo (Korea Advanced Inst. Sci. and Technol., Daejon, KOR) ,  LEE Yong-Hee (Korea Advanced Inst. Sci. and Technol., Daejon, KOR) ,  CHANG Kee Joo (Korea Advanced Inst. Sci. and Technol., Daejon, KOR)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 44  号： 1-7  ページ： L179-L181  発行年： 2005年02月10日 
JST資料番号： F0599B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 面積依存エピタクシーに対して,ブリッジマスク成長と名づけた新...

シソーラス用語： *MOCVD ,...
準シソーラス用語： ブリッジマスク成長 ,...

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分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (9件)：

• 1) K. R. Oh, J.-H. Ahn, J. S. Kim, S. W. Lee, H. M. Kim, K. E. Pyun and H. M. Park: Electron. Lett. 32 (1996) 39.
• 2) E. J. Thrush, J. P. Stagg, M. A. Gibbon, R. E. Mallard, B. Hamilton, J. M. Jowett and E. M. Allen: Mater. Sci. Eng. B 21 (1993) 130.
• 3) G. Coudenys, I. Moerman, Y. Zhu, P. Van Daele and P. Demeester: IEEE Photon. Tech. Lett. 4 (1992) 524.
• 4) M. Aoki, M. Komori, M. Suzuki, H. Sato, M. Takahashi, T. Ohtoshi, K. Uomi and S. Tsuji: IEEE Photon. Tech. Lett. 8 (1996) 479.
• 5) M. Suzuki, M. Aoki, M. Komori, H. Sato and S. Minagawa: J. Cryst. Growth 170 (1997) 661.

タイトルに関連する用語 (4件)： 有機金属気相エピタクシー ,  ブリッジ ,  マスク ,  成長